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结果真空渗碳为真空渗碳一淬火工艺曲线。在真空中加热到渗碳温度并保温使表面净化、附近活化之后，通入稀薄渗碳富化气(见控制气氛热处理)，在大约1330Pa(10T0rr)负压下进行渗入，然后停气(降压)进行扩散。渗碳后的精密钢管淬火采用一次淬火法，即先停电，通氮冷却工件至临界点A，、附近以下，使内部发生相变，再停气、附近开泵，升温到Ac1，～Accm之间。淬冷方法可采用气冷或油冷。后者为奥氏体化后移入前室，充氮至常压，入油。真空渗碳的温度一般高于普通气体渗碳，常采用920～1040℃渗入和扩散可按所示分两阶段，也可用脉冲式通气、附近停气，多段式的渗一扩相间，效果更好。由于温度高，尤其表面洁净、附近有活性，真空渗碳层形成速度比普通气体、附近液体和固体渗碳快，如要求渗层为1mm时，在927℃只需5h，而1033℃仅需1h。真空退火优质弹簧钢、附近工具钢、附近精密钢管的丝材，不锈钢制品及钛合金材，作光亮退火均可采用真空处理。退火温度愈低，则要求真空度愈高。为防止铬的蒸发及加速热传导，一般采用载气加热(保温)法，并注意对不锈钢和钛合金不宜用氮而应采用氩气。
精密钢管主要标准：GB/T3639，DIN2391-94/C，DIN2445，EN10305，DIN1630，DIN1629，ASTM A106，ASTM A179，JIS G3445主要材质：10＃，20＃，35,45,40Cr,25Mn.37Mn5,St35(E235),St37.4,St45(E255),St52(E355)主要交货状态：NBK(＋N)，GBK(＋A)，BK(＋C)，BKW(＋LC)，BKS(＋SR10＃ 0.07~0.13 0.17~0.37 0.35~0.65 ≤0.035 ≤0.03520＃ 0.17~0.23 0.17~0.37 0.35~0.65 ≤0.035 ≤0.03535＃ 0.32~0.39 0.17~0.37 0.35~0.65 ≤0.035 ≤0.03545＃ 0.42~0.50 0.17~0.37 0.50~0.80 ≤0.035 ≤0.03540cr 0.37~0.44 0.17~0.37 0.50~0.80 ≤0.035 ≤0.035 0.08~1.1025Mn 0.22~0.2 0.17~0.37 0.70~1.00 ≤0.035 ≤0.035 ≤0.2537Mn5 0.30~0.39 0.15~0.30 1.20~1.50 ≤0.015 ≤0.0
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